ARK 高輸出型芯片周邊曝光led光源

產(chǎn)品名稱(chēng): ARK 高輸出型芯片周邊曝光led光源

產(chǎn)品型號(hào): EW04S

產(chǎn)品特點(diǎn): ARK 高輸出型芯片周邊曝光led光源
適用于g線、i線抗蝕劑的芯片周邊曝光用的UV-LED光源。通過(guò)光學(xué)設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了7，000mw/cm2以上的高輸出。

ARK 高輸出型芯片周邊曝光led光源 的詳細(xì)介紹

ARK 高輸出型芯片周邊曝光led光源

適用于g線、i線抗蝕劑的芯片周邊曝光用的UV-LED光源。通過(guò)的光學(xué)設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了7，000mw/cm2以上的高輸出。適用于以往需要較長(zhǎng)時(shí)間處理的厚膜抗蝕劑的處理。進(jìn)一步可大幅縮短曝光處理時(shí)間，大大有助于芯片處理張數(shù)的增大。適用于g線、i線抗蝕劑的芯片周邊曝光用的UV-LED光源。通過(guò)的光學(xué)設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了7，000mw/cm2以上的高輸出。適用于以往需要較長(zhǎng)時(shí)間處理的厚膜抗蝕劑的處理。進(jìn)一步可大幅縮短曝光處理時(shí)間，大大有助于芯片處理張數(shù)的增大。適用于g線、i線抗蝕劑的芯片周邊曝光用的UV-LED光源。通的光學(xué)設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了7，000mw/cm2以上的高輸出。適用于以往需要較長(zhǎng)時(shí)間處理的厚膜抗蝕劑的處理。進(jìn)一步可大幅縮短曝光處理時(shí)間，大大有助于芯片處理張數(shù)的增大。

仕様

項(xiàng)目	內(nèi)容
使用環(huán)境溫度	5～40度（無(wú)結(jié)露。）
電源電圧	單相100～240V
電源周波數(shù)	50/60赫茲
發(fā)光峰值波長(zhǎng)	365±5nm
光出力安定度	+/-5%以?xún)?nèi)
初期紫外線強(qiáng)度	2000mw/cm2以上（在365nm，距掩模0.5mm的距離）
強(qiáng)度分布的均勻性	10%以下（4x）5mm區(qū)域）
紫外線発光源	紫外發(fā)光二極管
紫外線発光源壽命	20000小時(shí)（推定壽命驅(qū)動(dòng)電流最大時(shí)）※紫外線強(qiáng)度為初期50%以上的點(diǎn)燈累計(jì)時(shí)間
照射ON/OFF功能	UV-LED的ON/OFF控制（通過(guò)遠(yuǎn)程及手動(dòng)控制點(diǎn)亮/熄滅）
光量調(diào)整機(jī)能	UV-LED的電流調(diào)整光量調(diào)整范圍為20～100%
外裝材質(zhì)	不銹鋼
外形寸法	150毫米×200毫米×192毫米